KI-Glossar

Was ist Immersions-DUV?

Einfach erklärt

Eine Maschine, die Schaltkreismuster mit ultraviolettem Licht auf Siliziumscheiben belichtet, wobei zwischen Linse und Scheibe eine Wasserschicht sitzt. Das Wasser bricht das Licht stärker und erlaubt feinere Strukturen.

Stand der Erklärung: 29. Juli 2026 · aus der laufenden Berichterstattung von Syntiq AI

Erklärt in diesen Artikeln

Verwandte Begriffe