Was ist Multi-Patterning?

Einfach erklärt

Ein Trick, mit dem sich feinere Strukturen erzeugen lassen, als das Belichtungsgerät eigentlich schafft: Dasselbe Muster wird in mehreren versetzten Durchgängen belichtet. Das kostet Zeit und erhöht die Fehlerquote.

Stand der Erklärung: 28. Juli 2026 · aus der laufenden Berichterstattung von Syntiq AI